[发明专利]一种铁酸铋基三元固溶体介电薄膜材料及其制备方法

摘要

一种铁酸铋基三元固溶体介电薄膜材料及其制备方法，属于介电材料技术领域。该介电薄膜材料的化学成分通式为(1‑x‑y)BiFeO3‑xBaTiO3‑ySrTiO3，其中，x、y为摩尔分数，且0x1,0y1,0x+y1。其制备方法是将Bi2O3、Fe2O3、BaCO3、SrCO3和TiO2原料按选定的化学计量比混合得到原料粉体，对原料粉体进行预烧处理，得到陶瓷胚体，然后对胚体进行埋烧，得到陶瓷靶材，最后对陶瓷靶材进行脉冲激光沉积和退火处理，即可得到所述的铁酸铋基三元固溶体介电薄膜材料。实验证明，该材料其击穿场强可达3.0～5.3MV/cm，储能密度可达112J/cm3，储能效率约80％；是一种具有较大介电常数、较小的介电损耗、强极化、高击穿和高储能密度等优异性质且环境友好的新型无铅介电材料。

主权项

1.一种铁酸铋基三元固溶体介电薄膜材料，其特征在于，所述固溶体介电薄膜材料的化学成分通式为(1‑x‑y)BiFeO₃‑xBaTiO₃‑ySrTiO₃，其中，x、y为摩尔分数，且0<x<1,0<y<1,0<x+y<1。