[发明专利]一种沉积金刚石涂层前硬质合金刀具预处理方法及装置有效
| 申请号： | 201910209901.4 | 申请日： | 2019-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN109811298B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 魏秋平;马莉;周科朝;余志明 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36;C23C8/02 |
| 代理公司： | 43114 长沙市融智专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 颜勇 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种沉积金刚石涂层前硬质合金刀具预处理方法及装置，所述装置包括炉体、炉膛、电加热体、等离子发生电源、样品台。所述预处理方法包括对硬质合金刀具表面进行化学微刻蚀、等离子活化、等离子增强气态硼化、等离子清洗步骤。本发明通过使用把等离子体设备加持在恒温管式炉上，同时又增加了偏压装置改造得到的设备，加上一套合适的工艺解决了现有技术的问题。本发明的设备结构简单、操作方便，对工件实现等离子活化、等离子增强气态硼化、等离子清洗，优化了现有微波等离子体气态渗硼工艺，大幅度降低工艺成本，渗硼效果好，适于规模化工业生产。 | ||
| 搜索关键词： | 预处理 硬质合金刀具 沉积金刚石涂层 等离子活化 等离子清洗 等离子增强 硼化 渗硼 等离子发生电源 等离子体设备 微波等离子体 炉膛 电加热体 工艺成本 偏压装置 设备结构 规模化 恒温管 微刻蚀 样品台 炉体 优化 改造 | ||
【主权项】：
1.一种沉积金刚石涂层前硬质合金刀具预处理方法，其特征在于，所述预处理方法包括对硬质合金刀具表面进行化学微刻蚀、等离子活化、等离子增强气态硼化、等离子清洗步骤；其特征在于，所述的等离子活化是在300℃~1000℃，惰性气体或还原性气体条件下，对工件施加第一偏压，采用等离子体活化惰性气体或还原性气体对工件表面进行轰击活化至少60分钟；然后，将炉内温度升高100-300℃，通入气态硼源，对工件施加第二偏压，利用等离子体活化硼源气体并对工件表面进行等离子增强气态硼化。/n
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