[发明专利]一种软X射线光谱测量装置

摘要

本发明属于物理生物实验技术领域，具体为一种软X射线光谱测量装置。本发明装置包括：X射线相机、真空步进电机、真空滑轨、X射线分光晶体、遮光室、狭缝、升降旋转台，真空旋转台、真空升降台等；其中，X射线相机、半圆弧真空滑轨、真空旋转台等基本部件均放置于所述遮光室内；狭缝设置在遮光室一侧，用于限制入射光线大小；X射线相机、X射线分光晶体的中心、狭缝在同一水平面上，保证X射线相机出射的X射线，经过分光晶体反射，穿过狭缝出射。其中，除了电机、探测器配套的控制电源部分，所有的部件均放置于真空腔室内。本装置为具有特定自带真空测试腔室软X射线源的实验室开展的物理和生物研究提供高分辨X射线光谱测量服务。

主权项

1.一种软X射线光谱测量装置，其特征在于，具体包括：X射线相机、真空步进电机、半圆弧真空滑轨、X射线分光晶体、真空升降台、真空旋转台、遮光室、狭缝、真空附件和控制附件；其中：所述的X射线相机和真空步进电机通过铝合金转接台固定在一起，并且转接台放置于半圆弧真空滑轨上，真空步进电机和真空滑轨之间通过减速齿轮连接；X射线相机通过真空步进电机可以在半圆弧真空滑轨上来回运动，真空滑轨的两端各有一个限位器，用于系统断电、异常或搬动后重新安装后相机初始位置的确定；所述X射线分光晶体，共有3块，为高纯硅和二氧化硅晶体，分别为：Si（111），Si（220）和SiO₂(1010)，按15‑75度覆盖布拉格角度；综合三块晶体总的能量覆盖范围为1.5‑12.5keV；这三块晶体通过铝合金支架固定于真空升降台，三块晶体和真空升降台又固定于真空旋转台上，通过平台电机控制晶体的上下运动和旋转；所述遮光室用于对可能的外部杂散光进行遮蔽；上述X射线相机、真空步进电机、半圆弧真空滑轨、X射线分光晶体、真空升降台、真空旋转台，均放置于所述遮光室内；狭缝设置在遮光室一侧，用于限制入射光线大小；X射线相机、X射线分光晶体的中心、狭缝在同一水平面上，保证X射线相机出射的X射线，经过分光晶体反射，穿过狭缝出射。