[发明专利]一种超高真空除气及充气的装置

摘要

本发明公开了一种超高真空除气及充气装置，包括加热系统、抽真空系统、充气系统和控制系统；通过加热系统给工件进行加热；通过抽真空系统的涡旋泵、分子泵及离子泵分级进行抽真空作业，最终达到超高真空条件；通过充气系统的气瓶经管道给工件充气；控制系统的PLC通过控制加热系统及泵体在不同条件下的开合完成抽超高真空及充气作业。本发明能够满足多工位超高真空除气需求，具有体积小，自动化程度高，抽超高真空和充气为一体，生产成本低的特点。

主权项

1.一种超高真空除气及充气装置，包括机架，所述机架上端、下端和侧部分别固设托板、底板和侧板，所述机架下端固设有一体化脚轮，其特征在于，还包括加热系统、抽真空系统、充气系统和控制系统；所述加热系统包括所述托板上方均匀设置的四个加热罩，每个所述加热罩安装有带动其升降的升降机构；所述抽真空系统包括所述底板中部固设的离子泵，所述离子泵的上方连接竖直主管，所述主管的顶端与盲板密封连接，所述主管与所述离子泵之间固设有第一阀，所述主管的上部沿其径向固连有均匀分布的四对水平第一支路管，每对所述第一支路管与相应的所述侧板对应，每个所述第一支路管的另一端固连直角截止阀，每个所述直角截止阀安装有控制其开合的开关机构， 每个所述直角截止阀与竖直的辅管固连，每个所述辅管向上穿设所述托板并对应相应的加热罩；所述开关机构包括第一万向节头和第二万向节头，所述第一万向节头的一端固连卡套，其另一端与轴杆固连,所述卡套与所述直角截止阀的阀杆卡接； 所述第二万向节头的一端固连与所述轴杆相应的轴套，其另一端与垂直穿设所述侧板的转动杆固连，所述转动杆的另一端还固连手轮；所述轴套的内侧壁上设有沿其轴线方向的长条状凹槽，所述轴杆上设有与所述凹槽相适配的长条状凸条，所述轴杆套设在所述轴套内，所述轴杆可沿所述轴套的轴线方向滑动；所述主管上沿其径向连接水平的第二支路管,所述第二支路管连接第二阀,所述第二阀的另一端连接分子泵；所述主管上沿其径向连接水平的第三支路管，所述第三支路管分别连接第三阀、第四阀；所述离子泵一侧设有固连在所述底板的涡旋泵，所述涡旋泵的出口与所述第三阀连接，所述涡旋泵的出口还连接第五阀，所述第五阀的另一端与所述分子泵的出口连接；所述充气系统包括气瓶，所述气瓶通过管路与所述第四阀连接；所述控制系统包括PLC，所述PLC分别与电源、显示屏、升降机构、第一阀、第二阀、第三阀、第四阀、第五阀、离子泵、分子泵和涡旋泵电性连接。