[发明专利]一种非球面光学元件的检测装置在审
| 申请号： | 201910191637.6 | 申请日： | 2019-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN109708591A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张斌;周威 | 申请（专利权）人： | 茂莱(南京)仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李倩 |
| 地址： | 211102 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种非球面光学元件的检测装置，包括波前传感器或干涉仪、分光镜和硅基液晶，硅基液晶为反射型硅基液晶；波前传感器或干涉仪发出的激光经光阑后照射到分光镜上，经折射后射入硅基液晶中，光经过硅基液晶反射后再次通过分光镜照射到非球面光学元件上，光经过非球面光学元件的反射后依次经过硅基液晶的反射和分光镜的折射后进入波前传感器或干涉仪中，被其中的显示装置接收形成干涉图像。本发明检测装置采用硅基液晶替代计算全息法中的全息片，大大提高了检测装置的应用范围，具有通用性广的优点，对于不同的非球面光学元件均可进行面形检测。 | ||
| 搜索关键词： | 硅基液晶 非球面光学元件 检测装置 分光镜 波前传感器 干涉仪 反射 照射 折射 干涉图像 计算全息 面形检测 显示装置 反射型 全息片 光阑 射入 激光 替代 应用 | ||
【主权项】：
1.一种非球面光学元件的检测装置，其特征在于：包括波前传感器或干涉仪、分光镜和硅基液晶，硅基液晶为反射型硅基液晶；波前传感器或干涉仪发出的激光经光阑后照射到分光镜上，经折射后射入硅基液晶中，光经过硅基液晶反射后再次通过分光镜照射到非球面光学元件上，光经过非球面光学元件的反射后依次经过硅基液晶的反射和分光镜的折射后进入波前传感器或干涉仪中，形成的像被其中的显示装置接收。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于茂莱(南京)仪器有限公司，未经茂莱(南京)仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910191637.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种反射镜绝对加工面形的计算方法及系统
- 下一篇：一种板材自动检测分等装置
