[发明专利]一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统在审
| 申请号： | 201910180509.1 | 申请日： | 2019-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN109883362A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 叶瑞芳;程方;苏杭;崔长彩;余卿;王寅 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;林燕玲 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统，包括半导体激光器、第一偏振分光棱镜、激光多普勒干涉单元和激光迈克尔逊干涉单元；该第一偏振分光棱镜位于半导体激光器的发射端以将光束分成S偏振分量和P偏振分量；该激光多普勒干涉单元接收P偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量线性直线度误差；该激光迈克尔逊干涉单元接收S偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量角度直线度误差。本发明系统不仅拥有较高的精度，还简化了系统结构与检测过程，能够提供完备的直线度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 半导体激光器 迈克尔逊干涉 偏振分光棱镜 直线度测量 多普勒 干涉单元 干涉信号 光栅干涉 相位差 采集 直线度误差 测量线性 单元接收 角度直线 系统结构 发射端 直线度 测量 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于光栅干涉原理的直线度测量系统，包括半导体激光器，其特征在于：还包括第一偏振分光棱镜、激光多普勒干涉单元和激光迈克尔逊干涉单元；该第一偏振分光棱镜位于半导体激光器的发射端以将光束分成S偏振分量和P偏振分量；该激光多普勒干涉单元接收P偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量线性直线度误差；该激光迈克尔逊干涉单元接收S偏振分量，用于采集四路相位差为90°的干涉信号以供测量角度直线度误差。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华侨大学，未经华侨大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910180509.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
