[发明专利]促动器以及光扫描装置有效
申请号: | 201910143489.0 | 申请日: | 2019-02-26 |
公开(公告)号: | CN110275285B | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 山田健介 | 申请(专利权)人: | 三美电机株式会社 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;G02B26/10;B81B7/02;B81B7/00;B81B3/00 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 张敬强;李平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明不牺牲驱动用压电元件的面积地配置传感器用压电元件来检测驱动梁的驱动及翘曲。本发明的促动器具备具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁且支撑驱动对象物的驱动梁、形成于上述梁的一个面上的驱动源、沿与上述梁相同的方向延伸且一端与上述梁的短边方向的侧部连接的传感器梁、以及形成于上述传感器梁的与上述一个面相同一侧的面上的传感器,通过上述驱动源的驱动,驱动上述驱动对象物使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。 | ||
搜索关键词: | 促动 以及 扫描 装置 | ||
【主权项】:
1.一种促动器,其特征在于,具有:驱动梁,其具有沿与预定轴垂直的方向延伸的梁,且支撑驱动对象物;驱动源,其形成于上述梁的一个面上;传感器梁,其沿与上述梁相同的方向延伸,且一端与上述梁的短边方向的侧部连接;以及传感器,其形成于上述传感器梁的与上述一个面相同一侧的面上,通过上述驱动源的驱动,驱动上述驱动对象物使之在绕上述预定轴旋转的方向上摆动。
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