[发明专利]一种基于激光干涉仪检测光路的快速校准方法有效
| 申请号： | 201910140252.7 | 申请日： | 2019-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN109696121B | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 蒋晓耕;王浩;王量;杨涛;陶博然;庞孝吾 | 申请（专利权）人： | 天津工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300387 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种关于激光干涉仪测量过程中快速准确完成光路校准的方法，其特征在于，本文通过对雷尼绍XL‑80激光干涉仪检测机床直线轴Y轴的光路进行分析，建立被测轴的齐次坐标变换误差模型，利用机床Y轴移动距离，再借助随着光点从光靶中心移动到光靶边缘的固定距离，求解与被测轴Y轴位置无关的激光发射器偏摆和俯仰角，以及间接得到激光器和反射镜位置偏移误差和光点在坐标系间变换的距离。通过建立的误差模型求解无法直接测量的分光镜与反射镜绕各自本身垂直底座轴线的偏摆误差，调整各部件，快速准确的完成光路校准过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 干涉仪 检测 快速 校准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于激光干涉仪检测光路的快速校准方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、建立Y轴检测光路误差模型，即对激光器、干涉镜组和反射镜分别建立综合误差模型。步骤2、根据汉川XK714D数控铣床的具体结构和激光干涉仪搭建实验测量装置，通过移动Y轴来判断光路的偏移。步骤3、结合实验装置，求解与被测轴Y轴位置无关的激光发射器偏摆和俯仰角，以及间接得到激光器和反射镜位置偏移误差和光点在坐标系间变换的距离。步骤4、结合误差模型求解无法直接测量的分光镜与反射镜处绕各自本身垂直底座轴线的偏摆误差，以便调整各部件，快速准确的完成光路校准过程。
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