[发明专利]基底加工装置以及基底加工方法在审
| 申请号： | 201910132969.7 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110391122A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 森幸博 | 申请（专利权）人： | ASMIP控股有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 | 代理人： | 李宏悦 |
| 地址： | 荷兰阿*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 基底加工装置的示例包括：台板；外周缘环，其围绕所述台板，同时在所述台板的侧表面与所述外周缘环之间设置有间隙；供气单元，其构造为将气体从所述间隙的下侧供应至所述间隙的上侧；以及上电极，其设置在所述台板上方。 | ||
| 搜索关键词： | 台板 基底加工装置 外周缘 供气单元 基底加工 侧表面 电极 | ||
【主权项】：
1.一种基底加工装置，包括：台板；外周缘环，其围绕所述台板，同时在所述台板的侧表面与所述外周缘环之间设置有间隙；供气单元，其构造为从所述间隙的下侧向所述间隙的上侧供应气体；以及上电极，其设置在所述台板的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASMIP控股有限公司，未经ASMIP控股有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910132969.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
