[发明专利]一种缺陷检测装置在审
| 申请号： | 201910132634.5 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN111610195A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 宋春峰;王婷婷;邹秀阳;陆海亮 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷检测装置。该缺陷检测装置包括：工件台；同步控制器，用于接收工件台提供的触发指令，并产生多种同步控制信号；明场照明光源，与所述同步控制器连接，用于接收明场同步控制信号，并根据明场同步控制信号进行开启操作；和/或，暗场照明光源，与同步控制器连接，用于接收暗场同步控制信号，并根据暗场同步控制信号进行开启操作；成像组件；分光棱镜；至少两个探测器，用于接收明场同步控制信号或暗场同步控制信号，并根据明场同步控制信号或暗场同步控制信号进行开启操作；每个探测器用于接收一路出射光束，并对根据出射光束对待检测物体进行缺陷检测。本发明实施例提供的缺陷检测装置，提高了缺陷检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司，未经上海微电子装备(集团)股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910132634.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种湿法机械解团聚分散碳纳米管的方法
- 下一篇：用于三相四线制的供电系统
