[发明专利]一种铜表面氧化物的处理方法在审
| 申请号： | 201910132234.4 | 申请日： | 2019-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN111607801A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 王英辉;陆阳婷 | 申请（专利权）人： | 中科院微电子研究所昆山分所 |
| 主分类号： | C23G5/00 | 分类号： | C23G5/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铜表面氧化物的处理方法，包括以下步骤：a)将表面有氧化物的铜在惰性气体保护条件下进行加热，得到待处理的铜；b)将步骤a)得到的待处理的铜与甲酸气体进行接触，得到去除表面氧化物的铜。与现有技术相比，本发明提供的处理方法通过甲酸气体与加热后的表面有氧化物的铜进行接触，使所述表面有氧化物的铜实现了表面彻底清洁；本发明提供的处理方法处理效果好，处理后得到的去除表面氧化物的铜表面粗糙度和平均面积高，且对铜表面污染小，能够直接用于铜键合；同时，该处理方法工艺简单、工艺要求也较低，并且成本低，适用于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 氧化物 处理 方法 | ||
【主权项】：
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