[发明专利]一种双氧化组分铝蚀刻液在审
| 申请号： | 201910127787.0 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN109852970A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 李少平;张演哲;贺兆波;张庭;蔡步林;万杨阳;王书萍;冯凯;尹印 | 申请（专利权）人： | 湖北兴福电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 成钢 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双氧化组分铝蚀刻液。该铝蚀刻液由双氧化剂浓硝酸和双氧水，具有络合作用的无机酸，以及具有缓冲稳定作用的有机酸组成。在该蚀刻液中，由浓硝酸和双氧水组成的双氧化剂克服了铝蚀刻液中常见的蚀刻缺陷，包括蚀刻过程中金属铝易钝化导致蚀刻速率慢且波动大、氧化剂被快速消耗导致有效刻蚀时间短等问题。本发明中的铝蚀刻液能在蚀刻过程中长时间保持稳定和均匀性，并较大幅度的增加有效蚀刻区间，延长蚀刻寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 铝蚀刻液 双氧水 双氧化剂 浓硝酸 有机酸组成 氧化剂 络合作用 时间保持 金属铝 均匀性 蚀刻液 无机酸 钝化 缓冲 刻蚀 消耗 | ||
【主权项】：
1.一种双氧化组分铝蚀刻液，其特征在于：所述铝蚀刻液由双氧化剂、无机酸络合剂和有机酸缓冲剂组成；铝蚀刻液中的双氧化剂由质量分数为68‑72%的浓硝酸和质量分数为18‑22%的双氧水组成；铝蚀刻液中的无机酸络合剂为盐酸、磷酸中的任意一种，并优选磷酸；铝蚀刻液中的有机酸缓冲剂为醋酸。
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