[发明专利]一种FMM用金属复合薄板的制作方法、掩模板及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201910126568.0 | 申请日： | 2019-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN109868449A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 简旭宏;黄俊铭 | 申请（专利权）人： | 合肥永淇智材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C18/32 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 娄岳 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种FMM用金属复合薄板的制作方法、掩模板及蒸镀设备，包括：提供一掩模板本体的初始盲板；将初始盲板进行蚀刻贯穿，得到多个开口；至少在所述开口处进行金属镀层沉积，并以时间控制该金属镀层沉积厚度。能够解决现有技术中因瓦金属厚度较厚，使得FMM开口尺寸无法达标的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模板 金属镀层 金属复合 蒸镀设备 盲板 沉积 开口 蚀刻 时间控制 开口处 制作 金属 达标 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种FMM用金属复合薄板的制作方法，其特征在于，包括：提供一掩模板本体的初始盲板；将初始盲板进行蚀刻贯穿，得到多个开口；至少在所述开口处进行金属镀层沉积，并以时间控制该金属镀层沉积厚度。
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