[发明专利]光学位置测量装置

摘要

本发明涉及用于确定两个物体的相对位置的光学位置测量装置，物体能沿至少两个测量方向相对于彼此运动。该装置包括两个扫描单元，扫描单元与两个物体中的一个连接并且各自具有至少一个光源、一个或多个栅格和一个检测器装置。此外，标尺与另一个物体连接，该标尺具有沿第一测量方向延伸的、带有增量分度的两个轨道，增量分度各自由沿增量分度方向周期性布置的、具有不同光学特性的分度区域构成。两个增量分度方向相对于彼此占据在0°和90°之间的角度。在两个增量分度中的每一个中集成至少一个参考标记，沿着每个测量方向能够由参考标记的扫描生成在限定的参考位置处的参考信号，参考标记包含非周期性分量和周期性分量。

主权项

1.一种用于确定两个物体的相对位置的光学位置测量装置，所述物体能沿至少两个测量方向(x、y)相对于彼此运动，所述光学位置测量装置具有：两个扫描单元(20)，所述扫描单元与两个所述物体中的一个物体连接，并且所述扫描单元各自包括至少一个光源(22)、一个或多个栅格(23.1、23.2)、以及一个检测器装置；和标尺(10)，所述标尺与另一个物体连接，并且所述标尺具有沿着第一测量方向延伸的、带有增量分度(12.1、12.2；112.2)的两个轨道，所述增量分度各自由沿着增量分度方向(x₁'、x₂')周期性布置的、具有不同光学特性的分度区域(12.1a、12.1b、12.2a、12.2b；112.2a、112.2b)构成，其中两个所述增量分度方向(x₁'、x₂')相对于彼此占据在0°和90°之间的角度(β)，并且在两个所述增量分度(12.1、12.2；112.2)中的每一个中集成有至少一个参考标记(13.1、13.2；113.2)，沿着每个测量方向能够由所述参考标记的扫描生成在限定的参考位置处的参考信号，并且其中所述参考标记(13.1、13.2；113.2)包含非周期性分量(14.2)和周期性分量(14.1)。