[发明专利]一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法在审
| 申请号： | 201910103218.2 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN109664425A | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 秦光临;李志强;蔡金荣 | 申请（专利权）人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 212200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法，所述方法如下：金刚线多线切割机切割程序自动运行结束后，关闭冷却喷洒系统；打开切割室防护门，检查蓝宝石晶棒是否完全切穿并深入玻璃垫条；设置多线切割机手动运行线速度和线网运行倍率；依据切割过程走线方向与下机时走线方向相反的规则设置多线切割机手动走线方向；设置手动抬棒速度；开启冷却喷洒系统；将切割后的蓝宝石晶棒抬升至线网之上；关闭手动走线和冷却喷洒系统，将切割后的蓝宝石衬底片依次取出并按顺序摆放到晶片盒内。该方法降低了金刚线摩擦蓝宝石衬底片平边位置所造成的机械性损伤线切痕的概率，同时，切片后续的研磨工序降低研磨去除量，节约研磨工序的加工成本和耗材成本。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 衬底片 走线 多线切割机 喷洒系统 研磨 切片 冷却 蓝宝石晶棒 金刚线 线网 切割 机械性损伤 方向相反 规则设置 耗材成本 平边位置 切割程序 切割过程 手动运行 顺序摆放 自动运行 玻璃垫 防护门 晶片盒 切割室 切痕 去除 抬升 摩擦 取出 节约 概率 加工 检查 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石衬底片切片后的下机方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1)金刚线多线切割机切割程序自动运行结束后，关闭冷却喷洒系统；步骤2)打开切割室防护门，使用强光照射来检查蓝宝石晶棒是否完全切穿并深入玻璃垫条2～4mm；步骤3)设置多线切割机手动运行线速度为4～5m/s，线网运行倍率6～7％；步骤4)依据切割过程走线方向与下机时走线方向相反的规则设置多线切割机手动走线方向；步骤5)设置手动抬棒速度为3.5～4.5m/min；步骤6)开启冷却喷洒系统；步骤7)点击手动走线按钮，按下手动抬棒按钮，将切割后的蓝宝石晶棒抬升至线网之上15～20mm处；步骤8)关闭手动走线，关闭冷却喷洒系统，将切割后的蓝宝石衬底片依次取出并按顺序摆放到晶片盒内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏吉星新材料有限公司，未经江苏吉星新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910103218.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
