[发明专利]一种可以直接剥离的LED管芯电极掩模图形的制作方法在审
| 申请号： | 201910085347.3 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111487845A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 徐晓强;张兆喜;吴向龙;闫宝华;王成新 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/095 | 分类号： | G03F7/095;G03F7/11;G03F7/16;H01L21/027;H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种可以直接剥离的LED管芯电极掩模图形的制作方法，通过在LED晶体上制备两层由负性光刻胶构成的胶膜层以及设置在第一胶膜层与第二胶膜层之间的填充层，来得到适合金属电极掩模图形的制作，第一胶膜层和第二胶膜层的厚度较薄，仅仅使用较少的光刻胶制作出了达到较厚需要的掩模图形，使得到金属电极图形在完整的前提下又可以进行直接撕金剥离，不需要作出额外处理。适当厚度的两层光刻胶和二氧化硅层的配合能够完成必须使用厚胶才能制作出的金属电极掩模图形来直接剥离的效果。第一胶膜层、填充层、第二胶膜层依次制成后再进行电极掩膜图形的制备，这样可以减少两次光刻步骤，使整个过程简单易行，成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可以 直接 剥离 led 管芯 电极 图形 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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