[发明专利]用于测量基质的厚度的测量方法和测量装置在审
| 申请号： | 201910085311.5 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111426273A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | 陈海峰 | 申请（专利权）人： | 法国圣戈班玻璃公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 杨胜军 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于测量基质的厚度的测量方法和测量装置。所述基质具有相对的第一表面和第二表面，所述测量方法包括：提供检测光束和参考光束；获取样本光束；获取包含随所述光源的波长变化的干涉信号；获得所述基质的二维图像或三维图像；在所述二维图像或三维图像中，根据所述光强信息随轴向深度的变化，确定所述基质与外界环境之间的界面位置；以及在所述二维图像或三维图像中，根据所确定的界面位置获得所述基质的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 基质 厚度 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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