[发明专利]石英晶片的清洗方法有效
| 申请号： | 201910085017.4 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109647784B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 欧阳林;欧阳晟;韩何明;欧阳华 | 申请（专利权）人： | 广州晶优电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 林伟斌 |
| 地址： | 510663 广东省广州市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及石英晶片加工领域，具体公开了一种石英晶片的清洗方法，依次包括以下步骤：将石英晶片通过排片工序安装到镀膜夹具中；将安装好石英晶片的镀膜夹具放入清洗槽中进行清洗；将清洗好的镀膜夹具进行脱水甩干。本发明提出了一种新的清洗方案，先将石英晶片在镀膜夹具上排片好后再清洗，如此能够有效确保在清洗过程中，每片石英晶片具有独立的清洗空间，能够受到全方位的清洗，从而去除石英晶片表面的颗粒杂质、粘附尘埃等杂质，清洗效果优异，有助于提升后续镀膜质量。同时，清洗后的石英晶片也无需从镀膜夹具上拆下来进行转移，可直接进行后续的镀膜步骤，大大简化了工艺的复杂程度，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 晶片 清洗 方法 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶片的清洗方法，其特征在于，依次包括以下步骤：将石英晶片通过排片工序安装到镀膜夹具中；将安装好石英晶片的镀膜夹具放入清洗槽中进行清洗；将清洗好的镀膜夹具进行脱水甩干。
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