[发明专利]石英晶片的清洗方法

权利要求书

1.一种石英晶片的清洗方法，其特征在于，依次包括以下步骤：

将石英晶片通过排片工序安装到镀膜夹具中；

将安装好石英晶片的镀膜夹具安装到一清洗提篮中，所述镀膜夹具在所述清洗提篮中形成相互平行的，竖直设置的，相邻两列交错排列的，相邻两行交错排列的，整体呈多列和多行设置的安装方式，然后将所述清洗提篮置入清洗槽中进行清洗；

将清洗好的镀膜夹具安装到一脱水提篮中，所述镀膜夹具在所述脱水提篮中形成相互平行的，竖直设置的，整体呈单列设置的安装方式，然后通过离心脱水的方式将石英晶片和镀膜夹具的水分甩干；

将甩干后的镀膜夹具从脱水提篮中取下，然后放入烤干设备中烤干，烤干后的镀膜夹具可直接进行下一步的镀膜工序；

所述清洗提篮设有多个导轨槽，所述导轨槽用于插入安装所述镀膜夹具，所述导轨槽呈多列/多行设置，且相邻的两列/行的导轨槽为交错排列，所述清洗提篮的侧面和底面设有开孔；

所述脱水提篮设有上开口，其中一对侧面上平行设置有多个用于安装镀膜夹具的导轨槽，另一对侧面上设有第一开窗孔；所述脱水提篮的底面设有第二开窗孔。