[发明专利]等离子体浸没注入改性石墨烯的方法及其应用

摘要

本发明公开了一种等离子体浸没注入改性石墨烯的方法及其应用，采用等离子体浸没注入技术，将样品置于真空室试样台上，当真空室的真空度达到要求时，开启等离子体发生源激发等离子体，开启负高压脉冲电源，加速离子轰击样品表面，注入所需金属离子，可明显减少石墨烯表面缺陷，改善石墨烯的分散性和湿润性，将改性过后的石墨烯用于亲水材料。该方法克服了传统束线离子注入的视线限制和注入剂量问题，不受限于样品的复杂形状和注入元素的种类，且该制备工艺简单、成本低廉、绿色环保。

主权项

1.等离子体浸没注入改性石墨烯的方法，其特征在于，具体按照以下步骤进行：步骤1、将石墨烯粉末置于无水乙醇的烧杯中，超声离散，然后将离散好的石墨烯溶液滴于硅片上，待样品中的无水乙醇挥发后滴一滴导电银胶于样品上，在室温下进行干燥，将硅片表面清理干净，获得硅基底石墨烯样品；步骤2、使用绝缘衬台将脉冲高压接入真空室，将制备好的样品置于真空室试样台上，开启机械泵和分子泵抽气，调节真空室的真空度；步骤3、调节质量流量控制计和闸板阀，使工作气压达到0.2‑1.0Pa；步骤4、开启等离子体发生源，调整射频功率，激发等离子体；步骤5、开启负脉冲高压电源，调整其输出电压、脉冲重复频率、注入脉冲宽度、注入时间，注入步骤4中的等离子体；步骤6、将改性处理后的样品从真空室中取出，置于干燥器中进行干燥。