[发明专利]一种线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置

摘要

本发明公开了一种线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置。在对超净光滑表面进行检测时，本发明首先利用低放大倍率的线阵相机快速地扫描全口径并采集样品表面的暗场图像，提取缺陷的位置信息，然后利用配置高定倍光学系统的面阵相机定位每一个缺陷并对图像作进一步的数据处理分析，得到高精度的检测结果。这种检测模式不仅速度快，而且精度和灵敏度都更高。此外，本发明还搭载了距离传感系统，用于待测超净光滑表面的调平和成像系统的对焦，具有更快速的调整精度和稳定性。本发明解决了各种大口径超净光滑表面缺陷自动化检测的难题，可用于各类光滑玻璃、晶圆、金属等表面的快速检测。

主权项

1.一种线面阵相机结合的大口径超净光滑表面缺陷检测装置，其特征在于包括如下：包括低倍线阵成像系统、高倍面阵成像系统、距离传感系统(S8)、XY二维导轨(S1)、Z向导轨(S2)、夹持台(S3)和控制台(S12)；其中低倍线阵成像系统用于收集大口径表面的缺陷信息，由环形照明光源(S5)、低放大倍率的线阵镜头(S6)和线阵相机(S7)组成，环形照明光源(S5)以特定的角度斜入射超净光滑表面样品(S4)，当表面存在缺陷时，部分光线被散射进线阵镜头(S6)并在线阵相机(S7)上成像；高倍面阵成像系统用于获取缺陷的特征，由面阵照明光源(S13)、高放大倍率的面阵镜头(S10)和面阵相机(S9)组成，面阵照明光源(S13)采用正入射的面阵照明光源(S13)和斜入射的暗场照明光源(S11)两种方式；距离传感系统(S8)用于超净光滑样品表面的距离测量和姿态估计；低倍线阵成像系统、高倍面阵成像系统、距离传感系统(S8)三个系统均安装于Z向导轨(S2)上，且均能够在Z轴方向进行平移；待测的超净光滑表面样品S4放置在夹持台(S3)上，夹持台(S3)安装于XY二维导轨(S1)上，夹持台(S3)能够进行二维偏偏转调整，用于调整超净光滑表面样品S4的姿态，XY二维导轨(S1)用于对样品进行扫描；控制台(S12)采集低倍线阵成像系统、高倍面阵成像系统的成像图片。