[发明专利]光栅分光式同时多点激光诱导击穿光谱测量系统及方法

摘要

本发明公开了一种光栅分光式同时多点激光诱导击穿光谱测量系统及方法，该系统包括高能脉冲激光发射器、衍射光栅、中孔反射镜、第一球面透镜、第二球面透镜、光纤束、光谱仪和控制装置，衍射光栅、中孔反射镜和第一球面透镜依次设置在高能脉冲激光发射器发射的激光的光路上，待测样品表面形成的等离子体阵列发光的光路上依次设置有第一球面透镜、中孔反射镜、第二球面透镜、光纤束和光谱仪，控制装置控制高能脉冲激光发射器和光谱仪之间的时间同步及待测样品的空间位置。本发明对阵列焦斑位置等离子体发射光谱进行同时分析，实现了单次多点的激光诱导击穿光谱测量，同时本发明是一种紧凑型同时多点激光诱导击穿光谱测量系统。

主权项

1.一种光栅分光式同时多点激光诱导击穿光谱测量系统，其特征在于，包括高能脉冲激光发射器、衍射光栅、中孔反射镜、第一球面透镜、第二球面透镜、光纤束、光谱仪和控制装置，衍射光栅、中孔反射镜和第一球面透镜依次设置在高能脉冲激光发射器发射的激光的光路上，待测样品放置在第一球面透镜的焦点位置，衍射光栅用于将激光分束为多个激光子束，所有激光子束透过中孔反射镜后被第一球面透镜聚焦在待测样品表面，待测样品表面形成等离子体阵列；等离子体阵列发光的光路上依次设置有第一球面透镜、中孔反射镜、第二球面透镜、光纤束和光谱仪，第一球面透镜用于收集等离子体阵列发光；中孔反射镜用于将等离子体阵列发光折向光纤束方向；第二球面透镜用于将等离子体阵列发光成像到光纤束表面；光纤束用于将等离子体阵列发光像传输到光谱仪入射狭缝；光谱仪用于对等离子体阵列发光进行光谱分析，得到等离子体阵列发光中不同波长的发光强度；控制装置与高能脉冲激光发射器和光谱仪连接，用于控制高能脉冲激光发射器和光谱仪之间的时间同步及待测样品的空间位置。