[发明专利]一种铜箔为基底的石墨烯转移方法在审

专利信息
申请号: 201910059946.8 申请日: 2019-01-22
公开(公告)号: CN111453720A 公开(公告)日: 2020-07-28
发明(设计)人: 吴海燕 申请(专利权)人: 南通晶锐新型碳材料科技有限公司
主分类号: C01B32/194 分类号: C01B32/194
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 226000 江苏省南通市崇*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及到的一种铜箔基底石墨烯转移的方法,首先将铜箔基底石墨烯晾干;将配置好的PMMA溶液悬涂在石墨烯/铜箔上,形成PMMA/石墨烯/铜箔复合层;然后用过硫酸铵溶液进行刻蚀。本发明为了提高石墨烯的转移质量,提前用丙酮以及异丙醇进行处理硅片,再将PMMA/石墨烯复合层置于硅片上,接着对硅片基底进行加热处理,然后用丙酮溶液浸泡复合层以去除PMMA溶液,最后成功得到硅基底石墨烯。本发明减少了转移后石墨烯的褶皱,裂缝等缺陷,最大程度去除了目标基底上的金属颗粒物,增强亲水性,提高了石墨烯的转移质量。
搜索关键词: 一种 铜箔 基底 石墨 转移 方法
【主权项】:
暂无信息
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