[发明专利]多级联动输出的多自由度微动平台

摘要

多级联动输出的多自由度微动平台，它涉及一种微动平台，它包括工作平台、柔性放大单元结构、底座和支撑杆；工作平台由与柔性放大单元结构连接的支撑杆支撑；每个所述柔性放大单元结构包括立架和压电叠堆驱动器；所述立架包含支架一和支架二、固定杆、输出杆、输出平台、摇杆、导向杆和放大机构；所述放大机构包含放大杆一、放大杆二和放大杆三；每个所述输出平台上安装有立式布置的支撑杆，支撑杆的顶部安装有球形铰链，球形铰链与工作平台可拆卸连接，固定杆的其中一支杆与底座可拆卸连接。本发明结构简单，设计合理，拆装方便，提高了工作平台的工作位移。

主权项

1.一种多级联动输出的多自由度微动平台，其特征在于：它包括工作平台(12)、柔性放大单元结构(2)、底座(13)和支撑杆(15)；所述底座(3)上固接有沿周向均布的结构相同的N个柔性放大单元结构(2)，其中N≥3，N为整数；工作平台(12)由与柔性放大单元结构(2)连接的支撑杆(15)支撑；每个所述柔性放大单元结构(2)包括立架和压电叠堆驱动器(20)；所述立架包含支架一(101)和支架二(102)、固定杆(8)、输出杆(3)、输出平台(7)、摇杆(5)、导向杆(10)和放大机构；所述放大机构包含放大杆一(4)、放大杆二(6)和放大杆三(9)；支架一(101)、支架二(102)、固定杆(8)、输出杆(3)、输出平台(7)、摇杆(5)、导向杆(10)、放大杆一(4)、放大杆二(6)和放大杆三(9)由机架经线切割而成；放大杆二(6)和放大杆三(9)分别通过叶状形柔性铰链(A)连接，所述固定杆(8)为L形，固定杆(8)两支杆与放大杆三(9)之间布置有通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接的导向杆(10)，输出平台(7)的四周布置有支架一(101)，支架一(101)与放大杆三(9)之间通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接，支架一(101)与放大杆二(6)通过叶状形柔性铰链(A)连接，支架一(101)与放大杆二(6)之间布置有通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接的摇杆(5)；与固定杆(8)的两个支杆相对设置的两个支架二(102)分别与对应的放大杆二(6)之间布置有通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接的放大杆一(4)，放大杆一(4)与放大杆二(6)通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)连接，放大杆一(4)通过单轴圆形截面双切口柔性铰链(B)与输出杆(3)连接，两个支架二(102)上安装有能驱动输出杆(3)运动的压电叠堆驱动器(20)，固定杆(8)的两个支杆与各自相对的输出杆(3)及压电叠堆驱动器(20)平行设置；每个所述输出平台(7)上安装有立式布置的支撑杆(15)，支撑杆(15)的顶部安装有球形铰链(11)，球形铰链(11)与工作平台(12)可拆卸连接，固定杆(8)的其中一支杆与底座(13)可拆卸连接。