[发明专利]颗粒物粒径测量系统和质谱仪

摘要

本发明涉及一种颗粒物粒径测量系统的质谱仪。该颗粒物粒径测量系统包括激光产生机构、真空腔和散射光收集机构。其中，所述激光产生机构用于产生两束平行的激光，并将所述激光导入至所述真空腔内。在所述真空腔内，待测颗粒物飞过该两束平行的激光并产生散射光。散射光收集机构采用前端收集组件、光纤组件以及光电探测组件，可以有效缩短两测径激光束之间的距离，减少粒子飞过两激光束时发生的赶超现象，提高颗粒物测量的准确性。而通过减小两测径激光束之间的距离，可以降低测量过程中由于粒子束发散引起的影响，有利于提高粒子的检测效率。