[发明专利]铂金通道环境系统在审
申请号: | 201910009336.7 | 申请日: | 2019-01-04 |
公开(公告)号: | CN109678320A | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 杨世民;李青;杨道辉;马强;何怀胜;李震;石志强 | 申请(专利权)人: | 芜湖东旭光电科技有限公司;东旭光电科技股份有限公司 |
主分类号: | C03B5/225 | 分类号: | C03B5/225 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 林治辰;蒋爱花 |
地址: | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种铂金通道环境系统,所述铂金通道环境系统包括铂金通道(9)、热电偶机构、第一腔室(8)以及第二腔室(1);所述第一腔室(8)以及所述第二腔室(1)配置为其腔室内部的温度均能够被调节;所述铂金通道(9)以及所述热电偶机构的热电偶(19)均设置在所述第一腔室(8)中,所述第一腔室(8)设置在所述第二腔室(1)中。本发明能够稳定铂金通道周围环境,提高铂金通道环境波动应急处理能力,延长通道的使用寿命,并且还能提高铂金通道温度的稳定性,从而提升玻璃基板的品质。 | ||
搜索关键词: | 铂金通道 第一腔室 第二腔室 环境系统 热电偶 应急处理能力 玻璃基板 环境波动 腔室内部 使用寿命 配置 | ||
【主权项】:
1.一种铂金通道环境系统,其特征在于,所述铂金通道环境系统包括铂金通道(9)、热电偶机构、第一腔室(8)以及第二腔室(1);所述第一腔室(8)以及所述第二腔室(1)配置为其腔室内部的温度均能够被调节;所述铂金通道(9)以及所述热电偶机构的热电偶(19)均设置在所述第一腔室(8)中,所述第一腔室(8)设置在所述第二腔室(1)中。
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