[发明专利]磁悬浮控制装置以及真空泵有效
| 申请号： | 201910006916.0 | 申请日： | 2019-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN110159584B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D29/058 | 分类号： | F04D29/058;F04D19/04;F04D27/00;H02P27/08 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;姚开丽 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够实现兼顾应对扰动优异的动作与降低尖峰噪声混入的影响的磁悬浮控制装置以及真空泵。关于进行磁悬浮控制的控制部(44)包括生成基于电流检测信号(Ip)、电流检测信号(Im)相对于电流设定信号(iset)的偏差(Δ2)的电压相当信号(V1)及基于电流设定信号(iset)的电压相当信号(V2)的电流控制部417p、电流控制部417m，且控制部(44)包括对电压相当信号(V1)及电压相当信号(V2)的任一者进行选择的切换开关SW2，基于由切换开关(SW2)所选择的电压相当信号来对励磁放大器(43)进行PWM控制。 | ||
| 搜索关键词： | 磁悬浮 控制 装置 以及 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种磁悬浮控制装置，其检测从励磁放大器朝使被支撑体磁悬浮的电磁铁供给的励磁电流，并根据基于被支撑体悬浮位置相对于悬浮目标位置的悬浮位置偏差信息的电流设定信号与励磁电流检测信号，来对所述励磁放大器进行脉冲宽度调制控制，所述磁悬浮控制装置的特征在于包括：控制信号生成部，生成基于所述励磁电流检测信号相对于所述电流设定信号的电流偏差信息的第1励磁电流控制信号，以及基于所述电流设定信号的第2励磁电流控制信号；以及选择部，包括：第1切换部，选择所述第1励磁电流控制信号及所述第2励磁电流控制信号的任一者；或第2切换部，选择将所述第1励磁电流控制信号与所述第2励磁电流控制信号相加所得的第3励磁电流控制信号及所述第2励磁电流控制信号的任一者，且基于由所述选择部所选择的励磁电流控制信号，来对所述励磁放大器进行脉冲宽度调制控制。
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