[发明专利]一种多晶硅膜层的均匀性检测装置在审
申请号: | 201910002594.2 | 申请日: | 2019-01-02 |
公开(公告)号: | CN111458106A | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | 王琦 | 申请(专利权)人: | 上海和辉光电有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01R31/26 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 201506 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及显示器件检测领域,特别涉及一种多晶硅膜层的均匀性检测装置,用于检测待测显示面板上的多晶硅膜层的均匀性,上述多晶硅膜层的均匀性检测装置包括:用于自待测显示面板的多晶硅膜层一侧向待测显示面板发射垂直检测光的发射模块,多晶硅膜层在接收到发射模块发射的检测光后内部形成电场;与多晶硅膜层信号连接以检测所述多晶硅膜层中电场的电压的分析模块。上述检测装置能够对待测面板的多晶硅膜层的均匀性进行检测,从而能够防止显示面板出现显示不良的情况。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 硅膜层 均匀 检测 装置 | ||
【主权项】:
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