[发明专利]垂直腔面发射激光器(VCSEL)阵列及制造方法有效
| 申请号： | 201880099647.0 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN113169519B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 汪洋;贺永祥 | 申请（专利权）人： | 瑞识科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区凤凰街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 公开一种VCSEL阵列以及其制造方法。该VCSEL阵列包括基片以及在所述基片上形成规则图案的多个VCSEL结构。沉积定制金属层以电连接选定数量而非全部的所述VCSEL结构。选定数量的所述VCSEL结构形成预定的不规则图案的阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 vcsel 阵列 制造 方法 | ||
【主权项】：
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