[发明专利]激光系统和电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201880098243.X | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN112771444B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 三浦泰祐;小野濑贵士;若林理 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/37 | 分类号： | G02F1/37;H01S3/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的一个观点的激光系统具有输出第1脉冲激光的波长可变的第1固体激光装置、对第1脉冲激光进行波长转换的波长转换系统、放大由波长转换系统进行波长转换后的脉冲激光的准分子放大器、以及控制部。波长转换系统包含供第1脉冲激光入射的第1非线性晶体、以及使第1脉冲激光在第1非线性晶体上的第1入射角度变化的第1旋转台。控制部从外部装置接收从准分子放大器输出的准分子激光的目标中心波长的数据，根据被指示的目标中心波长对第1脉冲激光的波长进行控制，并且根据目标中心波长的平均值对在第1非线性晶体上的所述第1入射角度进行控制。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 系统 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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