[发明专利]耐用的高性能线栅偏振器有效

专利信息
申请号: 201880096953.9 申请日: 2018-10-04
公开(公告)号: CN112639547B 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: R·S·尼尔森;M·C·乔治;S·奥格登;B·鲍尔斯 申请(专利权)人: 莫克斯泰克公司
主分类号: G02B5/30 分类号: G02B5/30
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 陈斌
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种用于制造线栅偏振器(WGP)的方法可以为WGP提供耐高温、坚固的线、抗氧化性和腐蚀防护。在一实施例中,该方法可以包括:(a)在底部保护层(14L)上提供线(12)的阵列;(b)将跨越线之间的通道(13)的顶部保护层(14U)施加在线上;然后(c)在顶部保护层上施加上部阻挡层(41),并通过顶部保护层中的可渗透结(42)进入通道。在该实施例的变体中,该方法可以进一步包括在施加顶部保护层之前施加下部阻挡层(31)。在另一变体中,底部保护层和顶部保护层可以包括氧化铝。在另一实施例中,该方法可包括在WGP上施加氨基膦酸酯,随后施加疏水性化学品。
搜索关键词: 耐用 性能 偏振
【主权项】:
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