[发明专利]掩膜板及掩膜板涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201880096043.0 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN112689687A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 马得贵 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种掩膜板涂层(21)的制备方法，掩膜板(10)包括框架(110)和固定在框架(110)上的掩膜片(120)，掩膜板涂层(21)的制备方法包括：清洗掩膜板(10)表面；将铁氟龙分散液(20)形成在掩膜板(10)表面；将带有铁氟龙分散液(20)的掩膜板(10)置于预设温度下，使铁氟龙熔融固化形成铁氟龙涂层(21)。还公开了一种掩膜板(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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