[发明专利]电荷粒子线装置有效
| 申请号： | 201880091702.1 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111971775B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 西中健一;野间口恒典 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在使用具有圆环形状的电荷粒子线光圈的情况下，电荷粒子线中的电流密度最高的光轴正上的电荷粒子线被遮挡，因此难以将电荷粒子线光圈配置到最优的安装位置。电荷粒子线装置具备：电荷粒子线源(101)，其产生电荷粒子线；电荷粒子线光圈(120)；电荷粒子线光圈电源(108)，其向电荷粒子线光圈施加电压；物镜(105)，其使电荷粒子线聚焦到样本；检测器(118)，其检测通过向样本照射电荷粒子线而释放的二次电荷粒子；计算机(170)，其根据由检测器检测出的二次电荷粒子形成电荷粒子线像，电荷粒子线光圈的位置被设定为在通过电荷粒子线光圈电源向电荷粒子线光圈施加交流电压的状态下，电荷粒子线像没有移动而与交流电压同步地变化为同心圆状。 | ||
| 搜索关键词： | 电荷 粒子 线装 | ||
【主权项】：
暂无信息
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