[发明专利]分层结构及其制造方法有效
| 申请号： | 201880089581.7 | 申请日： | 2018-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN111742199B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 卡洛斯·D·吉拉多;罗伯特·洛灵;埃德蒙德·克里图 | 申请（专利权）人： | 大不列颠哥伦比亚大学 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06;A61B8/00;B32B27/00;B32B37/02;B32B38/10;H01G7/00;G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 加拿大大不列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于制造分层结构的方法和技术，该分层结构如电容微机械超声换能器以及结构自身。层状结构具有膜，该膜包括基于聚合物的层和在基于聚合物的层上的顶部电极。该膜悬置在密封腔上方，并且可以通过在顶部电极与底部电极之间施加电压来致动，顶部电极和底部电极可以沿着密封腔或位于密封腔的底部定位。可以使用表面微加工或晶圆键合工艺来制造所述层状结构。 | ||
| 搜索关键词： | 分层 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大不列颠哥伦比亚大学，未经大不列颠哥伦比亚大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880089581.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
