[发明专利]微波等离子体装置在审
| 申请号： | 201880084760.1 | 申请日： | 2018-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN111566777A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·施皮茨尔 | 申请（专利权）人： | 拉尔夫·施皮茨尔 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 夏东栋 |
| 地址： | 德国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微波等离子体装置，所述微波等离子体装置包括处理空间和数量为两个以上的微波半导体。微波等离子体装置的特征在于，微波半导体以这样的方式附接到所述处理空间，使得微波半导体中的所述微波仅在所述处理空间中时干扰其他微波半导体的所述微波。本发明还涉及一种对应的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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