[发明专利]活性气体生成装置有效
| 申请号： | 201880084691.4 | 申请日： | 2018-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN111527796B | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 渡边谦资;西村真一;有田廉;山田义人;田畑要一郎 | 申请（专利权）人： | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;B01J19/08;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/50;H05H1/30 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 戚宏梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种能够生成优质的活性气体的活性气体生成装置。然后，本发明具有特征(一)～特征(三)。特征(一)为“以接地侧电极构成部(2X)支承高压侧电极构成部(1X)的方式构成活性气体生成用电极组(300)”。特征(二)为“具有设置在高压侧电极构成部(1X)的电介质电极(110)的放电空间外区域、向下方突出的台阶部(115H，115M，115L)，通过这些台阶部的形成高度(S15)来规定放电空间(68)的间隙长度”。特征(三)为“高压侧电极构成部(1X)及接地侧电极构成部(2X)分别将放电空间形成区域(R68)的厚度形成得比较薄，并且将上述放电空间外区域的厚度形成得比较厚”。 | ||
| 搜索关键词： | 活性 气体 生成 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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