[发明专利]具有主动温度控制的沉积处理系统及相关方法有效
| 申请号： | 201880083166.0 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111511959B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 安格斯·麦克法登;杰森·瑞特 | 申请（专利权）人： | 泰科耐斯集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/46;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 邬玥;方挺 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本技术的几个示例涉及在制造材料或薄膜期间主动控制腔室中的衬底的温度。在一些示例中，该方法可以包括冷却或加热衬底以使其温度在目标范围内，在衬底的表面上沉积材料，以及在沉积材料的同时控制衬底的温度。在一些示例中，控制衬底的温度可以包括通过在衬底上引导流体而从衬底去除热能以在整个沉积过程中将衬底的温度保持在目标范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 主动 温度 控制 沉积 处理 系统 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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