[发明专利]用于凹面光栅分光仪的选择性分辨率的系统和方法有效

专利信息
申请号: 201880080894.6 申请日: 2018-12-12
公开(公告)号: CN111480056B 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 哈利·杰尔姆·瓦纳;晓梅·佟;罗纳德·约瑟夫·科瓦奇 申请(专利权)人: 堀场仪器株式会社
主分类号: G01J3/02 分类号: G01J3/02
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 丁文蕴;张会娟
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种光学系统,包括具有凹面衍射光栅和探测器的光谱仪。孔眼通过相关致动器或定位机构被选择性地定位为进入或离开在样本下游且进入光谱仪之前的入射光束的光路。具有多个不同尺寸的入口狭缝的狭缝板定位在孔眼下游并且可通过相关致动器或定位机构进行移动,以将多个入口狭缝的其中之一定位在入射光束的光路中。连接至探测器和致动器的控制器被构造为对致动器进行控制,以选择性地定位孔眼和狭缝板,从而提供光谱的可选分辨率。孔眼的设置和狭缝板的设置可响应于对更高或更低的光谱分辨率的请求通过查询表来确定。
搜索关键词: 用于 凹面 光栅 分光仪 选择性 分辨率 系统 方法
【主权项】:
暂无信息
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