[发明专利]压力传感器的屏蔽构造及具备该屏蔽构造的压力传感器有效

专利信息
申请号: 201880076158.3 申请日: 2018-11-06
公开(公告)号: CN111386451B 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 泷本和哉 申请(专利权)人: 株式会社鹭宫制作所
主分类号: G01L19/00 分类号: G01L19/00;G01L19/04;H01L29/84
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 代理人: 张敬强;李平
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在压力传感器中,在液封室(13)内的传感器芯片(16)的一方端面与膜片(32)之间,设有屏蔽部件(21)、和热膨胀率比被封入的压力传递介质(PM)的热膨胀率低的环状部件(17),并且屏蔽部件(21)的电位设为与传感器芯片(16)的信号处理电子电路的电位成为同一电位。
搜索关键词: 压力传感器 屏蔽 构造 具备
【主权项】:
暂无信息
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