[发明专利]压力传感器的屏蔽构造及具备该屏蔽构造的压力传感器有效
申请号: | 201880076158.3 | 申请日: | 2018-11-06 |
公开(公告)号: | CN111386451B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 泷本和哉 | 申请(专利权)人: | 株式会社鹭宫制作所 |
主分类号: | G01L19/00 | 分类号: | G01L19/00;G01L19/04;H01L29/84 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 张敬强;李平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在压力传感器中,在液封室(13)内的传感器芯片(16)的一方端面与膜片(32)之间,设有屏蔽部件(21)、和热膨胀率比被封入的压力传递介质(PM)的热膨胀率低的环状部件(17),并且屏蔽部件(21)的电位设为与传感器芯片(16)的信号处理电子电路的电位成为同一电位。 | ||
搜索关键词: | 压力传感器 屏蔽 构造 具备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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