[发明专利]磁传感器、测量装置及磁传感器的制造方法有效

专利信息
申请号: 201880075250.8 申请日: 2018-10-25
公开(公告)号: CN111373276B 公开(公告)日: 2023-04-04
发明(设计)人: 远藤大三 申请(专利权)人: 昭和电工株式会社
主分类号: G01R33/02 分类号: G01R33/02;G01D5/245;G01P3/488;H10N50/00
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 杨宏军;唐峥
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 磁传感器1具备:薄膜磁铁20,其由硬磁体层103构成,且在面内方向上具有磁各向异性;和感应部30,其具备通过磁阻抗效应来感应磁场的感应元件31,所述感应元件31由在硬磁体层103上层叠设置的软磁体层105构成,具有长边方向和短边方向,长边方向朝向薄膜磁铁20产生的磁场的方向,并且在与长边方向交叉的方向上具有单轴磁各向异性,薄膜磁铁20和感应元件31被设置为:与和薄膜磁铁20的一个磁极呈对向地设置于外部的对向构件构成磁路。
搜索关键词: 传感器 测量 装置 制造 方法
【主权项】:
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