[发明专利]用于清洁的设备和方法有效
| 申请号： | 201880072153.3 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN111344637B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 阿列克谢·谢尔盖耶维奇·库兹涅佐夫;K·比斯特罗夫;V·Y·班尼恩;M·A·范德柯克霍夫;N·舒;A·尼基帕罗夫 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B08B7/04;B24C1/00;B24C3/16;B24C5/04;H01L21/67;G02B27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种清洁表面以从该表面去除污染物的方法，该方法包括以下步骤：使该污染物的至少一部分氧化；以及使二氧化碳雪流从该污染物经过。一种用于清洁表面的设备，该设备包括至少一个二氧化碳雪出口和至少一个等离子体出口。一种清洁头，该清洁头包括至少一个二氧化碳雪出口和至少一个等离子体出口。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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