[发明专利]用于控制等离子体室中的等离子体辉光放电的方法和系统在审
| 申请号： | 201880067780.8 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN111247619A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 亚伦·宾汉;帕特里克·范克利蒙布特 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 李献忠;张华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于控制等离子体室内的辉光放电的方法和系统。示例性的设备包含具有连接至地的室壁的室和射频(RF)电源。顶部电极连接至该RF电源，且底部电极连接至该RF电源。相变控制部连接至该RF电源的输出，以控制由该RF电源供应至该顶部电极的RF信号的第一相位、以及由该RF电源供应至该底部电极的该RF信号的第二相位。控制器与该相变控制部通信，以调整该第一相位与该第二相位之间的相位差，从而调整该室内等离子体辉光放电的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 等离子体 中的 辉光 放电 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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