[发明专利]成膜方法在审
| 申请号： | 201880067006.7 | 申请日： | 2018-10-03 |
| 公开（公告）号： | CN111212929A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 广田悟史;赤理孝一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;司昆明 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够在基材的表面形成具有比该基材的硬度高的高度的皮膜并使该皮膜良好地紧贴于基材的表面的成膜方法。该成膜方法包括以下步骤：使通过一边在收容基材的腔室内导入惰性气体一边放电而生成的惰性气体离子冲撞于基材的表面，从而对基材的表面进行蚀刻的蚀刻步骤；一边通过使惰性气体离子冲撞于金属靶材而使金属粒子从金属靶材飞出并使该金属粒子堆积于在蚀刻步骤被蚀刻后的基材的表面，一边使惰性气体离子冲撞于在基材的表面被堆积的金属粒子而将该金属粒子打进基材的表面的打进步骤；以及将皮膜形成于在打进步骤被打进金属粒子后的基材的表面的皮膜形成步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社神户制钢所，未经株式会社神户制钢所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880067006.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：绝缘体以及包括该绝缘体的定子、电动机
- 下一篇：用于确定频谱利用率的方法
- 同类专利
- 专利分类
