[发明专利]低剂量带电粒子量测系统有效
| 申请号： | 201880066006.5 | 申请日： | 2018-10-05 |
| 公开（公告）号： | CN111201585B | 公开（公告）日： | 2023-02-10 |
| 发明（设计）人： | 王飞;方伟;刘国狮 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于进行临界尺寸量测的系统和方法。带电粒子束装置产生用于对第一区域540和第二区域541‑547成像的束。获取对应于第一区域中的第一特征的测量结果，并且获取对应于第二区域中的第二特征测量结果。第一区域和第二区域位于样品上的分离位置处。组合的测量结果基于第一特征的测量结果和第二特征的测量结果进行计算。 | ||
| 搜索关键词： | 剂量 带电 粒子 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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