[发明专利]多色仪系统和方法有效
| 申请号： | 201880065041.5 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN111183342B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | S·肯特;L·巴克 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/12 | 分类号： | G01J3/12;G01J3/18;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京坤瑞律师事务所 11494 | 代理人： | 封新琴 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种多色仪系统包括：光学元件，其限定光阑；准直镜，用于经由所述光阑接收光并反射基本上准直的光；至少第一色散光学部件和第二色散光学部件，各自被配置为针对不同的波长将从所述准直镜接收的所述基本准直的光色散不同的量，并提供沿第一轴线和第二轴线隔开的具有不同光波长的交叉色散光；以及聚焦镜，其定位成将所述交叉色散的光聚焦到2D阵列检测器上，以在所述检测器的多个相应区域处提供所述光阑的多个光阑图像，所述多个光阑图像中的每一个与所述交叉色散光的各自的波长相关联。所述准直镜和所述聚焦镜中的一个或两个是具有反射面的自由曲面镜，所述反射面被配置为减轻所述多色仪系统在沿着所述第一轴线和所述第二轴线的所述交叉色散光的多个波长上的光学像差的影响，并且从而优化与沿着所述第一轴线和所述第二轴线的所述多个波长相关联的所述多个光阑图像的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 多色 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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