[发明专利]在低温下具有高灵敏度的气体传感器装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 201880060826.3 申请日: 2018-09-19
公开(公告)号: CN111108371A 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: N.凯塞多潘科瓦;D.勒诺布尔;R.勒图尔克;J-S.索曼 申请(专利权)人: 卢森堡科学技术研究院
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12;G01N33/00;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王冉
地址: 卢森堡阿尔*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明涉及一种用于生产气体传感器(2)的方法,该方法包括向基板(4)提供两个共面电极(6)的步骤以及在所述两个电极(6)上形成ZnO纳米线网络(8)的步骤。在所述两个电极(6)上形成ZnO纳米线网络(8)的步骤如下执行:用液相顺序生长法合成ZnO纳米线;将所述合成的纳米线分散在溶剂中;在电极上滴铸含有溶剂和ZnO纳米线的溶液;在低于85℃的温度下干燥溶液。本发明还涉及一种在诸如室温的低温下工作的气体传感器。
搜索关键词: 低温 具有 灵敏度 气体 传感器 装置 及其 制造 方法
【主权项】:
暂无信息
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