[发明专利]三维测量装置有效
| 申请号： | 201880056431.6 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN111051810B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 石垣裕之;间宫高弘 | 申请（专利权）人： | CKD株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G06T7/521 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 金英花 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够实现测量精度的提高并且能够实现测量效率的提高的三维测量装置。三维测量装置(1)基于由拍摄系统(4A、4B)拍摄得到的干涉条纹图像针对工件(W)上的规定的测量区域的各坐标位置以规定的测量范围间隔获取多组光轴方向规定位置的强度图像数据。接着，基于这些多组强度图像数据来决定该坐标位置处的光轴方向对焦位置，并且将与该光轴方向对焦位置对应的阶数确定为与该坐标位置相关的阶数。然后，获取测量区域的各坐标位置处的光轴方向对焦位置的光的相位信息，基于与该坐标位置相关的相位信息和与该坐标位置相关的阶数来执行与该坐标位置相关的三维测量。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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