[发明专利]用于确定至少一个对像的位置的检测器

摘要

公开了一种用于调整检测器(110)的方法，该检测器(110)用于确定测量范围(114)内的至少一个对象(112)的位置。该检测器(110)包括至少两个纵向光学传感器(116)和用于将对象(112)成像到像平面中的至少一个传送装置(118)。该传送装置(118)具有焦平面。该传送装置(118)被定位在纵向光学传感器(116)和对象(112)之间。该纵向光学传感器(116)中的每一者具有至少一个传感器区域(120)。该纵向光学传感器(116)中的每一者被设计为以取决于由从对象(112)向检测器(110)传播的至少一个光束(178)对所对应的传感器区域(120)的照射的方式生成至少一个纵向传感器信号，其中，在给定相同的总照射功率的情况下，纵向传感器信号取决于光束(178)在传感器区域(120)中的束横截面。该检测器(110)进一步包括至少一个评估装置(124)。该方法包括以下步骤：(i)顺序地将对象(112)纵向移动到测量范围(114)内的具有至少两个不同纵坐标的至少两个不同校准位置(134、136)；(ii)针对校准位置(134、136)中的每一者，记录由第一纵向光学传感器(126)生成的至少一个第一纵向传感器信号和由第二纵向光学传感器(128)生成的至少一个第二纵向传感器信号；(iii)针对校准位置(134、136)中的每一者，使用第一纵向传感器信号和第二纵向传感器信号来形成至少一个校准信号；(iv)使用校准信号来生成校准函数，该校准函数定义了对象(112)的纵坐标与第一纵向传感器信号和第二纵向传感器信号之间的关系。