[发明专利]用于离子注入的含锑材料有效
| 申请号： | 201880053287.0 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN111033679B | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | A·雷伊尼克尔;A·K·辛哈;D·C·黑德曼 | 申请（专利权）人： | 普莱克斯技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/08;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张萍;林毅斌 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于使用含锑掺杂剂材料的新型方法、组合物以及系统。作为离子注入工艺的一部分，选择具有足够蒸气压的组合物，以使该组合物流入电弧室。含锑材料由含非碳的化学式表示，从而减少或消除将碳基沉积物引入离子室中。组合物在稳定条件下储存在储存和输送器皿中，该储存和输送器皿包括不含痕量的水分的无水环境。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 离子 注入 材料 | ||
【主权项】：
暂无信息
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