[发明专利]光波导制造方法有效
| 申请号： | 201880052393.7 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110998445B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 苏凯;B·W·斯维顿斯基;M·G·海尔;W·K·韦德纳 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限责任公司;美国陶氏有机硅公司 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G02B1/04;G02B6/122;G02B6/138 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张佳鑫;王颖 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光波导的制造方法，通过：(a)沉积第一组合物，该第一组合物包括：(i)包含环氧基和烯基的聚硅氧烷，和(ii)分子量不大于1000且折射率至少为1.47的包含环氧基的化合物；以及(iii)光致产酸剂；和(iv)氢化硅烷化催化剂，(b)通过暴露于紫外光下固化第一组合物；(c)去除第一组合物的未固化部分的至少一部分以产生最终的图案化芯层；(d)在最终的图案化芯层上沉积第二组合物，以产生复合材料，该第二组合物包含：(i)包含环氧基和烯基的聚硅氧烷，和(ii)包含环氧基和硅‑氢键的化合物，其分子量不大于1000且折射率不大于1.45；(iii)光致产酸剂；(e)在20至150℃的温度下加热0.1至120分钟；和(f)通过暴露在紫外线下固化。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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